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芯源微
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芯源微簡介
瀋陽芯源微電子設備股份有限公司主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售,產品包括光刻工序塗膠顯影設備(塗膠/顯影機、噴膠機)和單片式濕法設備(清洗機、去膠機、濕法刻蝕機),可用於8/12英寸單晶圓處理(如積體電路製造前道晶圓加工及後道先進封裝環節)及6英寸及以下單晶圓處理(如化合物、MEMS、LED晶片製造等環節)。2019年,公司先後獲得“2018年中國半導體設備行業十強單位”、“2018年中國半導體設備五強企業”、“全國第一批專精特新‘小巨人’”等多項殊榮。
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