拓荊科技

拓荊科技股份有限公司主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售和技術服務。公司主要產品為半導體薄膜沉積設備包括PECVD設備、ALD設備及SACVD設備三個系列。公司是國內唯一一家產業化套用的積體電路PECVD、SACVD設備廠商，以前後兩任董事長為核心的五名國家級海外高層次專家組建起一支國際化的技術團隊，形成了三大類半導體薄膜設備產品系列，先後四次承擔國家重大科技專項/課題，被中國半導體行業協會評為2016年度、2017年度、2019年度“中國半導體設備五強企業”。公司獲得2017年遼寧省政府頒發的“遼寧省科學技術進步一等獎”，中國電子專用設備工業協會2016年度“中國半導體創新產品”認證，2019年國家知識產權局頒發的“國家智慧財產權示範企業”稱號，2021年中國積體電路創新聯盟頒發的“技術創新獎”，中國半導體行業協會頒發的2016年、2017年、2019年“中國半導體設備五強企業”稱號。