至純科技

上海至純潔淨系統科技股份有限公司的主營業務為半導體製程設備、工藝支持設備的研發和生產銷售，以及由此衍生的高純工藝系統建設、電子材料、部件清洗及晶圓再生等服務。公司的主要產品為高純工藝集成系統、半導體設備、光感測及光器件。公司於2019年3月完成對波匯科技的收購,波匯科技主要業務為光感測套用及相關光學元器件的研發、生產和銷售。公司多項技術已達到國際先進水平。