量具精度最高的是

量具精度最高的量具是三坐標測量機。

三坐標測量機通過探針來確定被測件的三維坐標值，其精度能達到±0.001mm。除了三坐標測量機，光學測量儀也是高精度測量工具，但它是通過光學原理來獲取測量結果，可能存在誤差。其他常規測量工具如卡尺、千分尺、角度尺等，其精度為±0.02mm、±0.05mm、±3'等。總之，三坐標測量機的精度最高，適用於工業生產中高精度測量。