微影製程最難解決的問題是什麼

微影製程最難解決的問題主要包括以下幾個方面：

1. 微小零件的拍攝問題：由於微小零件尺寸的特殊性，給拍攝帶來很大的難度。要在微小空間內給機器視覺系統設定合適的位置，使其能完全掃描整個產品。另外，因為環境光的反射等問題，更需要對機器視覺系統的算法進行調優。
2. 穩定性問題：隨著成像設備的縮小，相應的噪聲也會增加。在微影過程中，需要解決圖像的噪聲問題，以保證最終的成像質量。
3. 生產良品率問題：微影技術要求高，需要解決生產良品率的問題。此外，微影製程中還可能面臨其他挑戰，如光線控制、電路設計、設備維護等。

總的來說，微影製程面臨的主要挑戰包括小尺寸零件的拍攝、圖像噪聲問題以及生產良品率等問題。要解決這些問題，需要不斷最佳化技術，提升設備性能和生產效率。